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規(guī)格 | XY軸 | θXθY軸 | Z軸 | θZ軸 |
有效行程 | ±50mm | ±3deg | ±50mm | ±5deg |
電機(jī)類型 | 直線電機(jī) | 直線電機(jī) | 直線電機(jī) | 直驅(qū)電機(jī) |
光柵分辨率 | 4.88nm(1vpp) | 4.88nm(1vpp) | 4.88nm(1vpp) | 0.04sec |
最小步長(zhǎng) | 100nm | 0.3sec | 100nm | 0.1sec |
重復(fù)定位精度 | ±0.2um | ±1sec | ±0.3um | ±1sec |
定位精度 | ±1um | - | ±1um | ±5sec |
速度 | 100mm/s | 30deg/sec | 15mm/s | 4rps |
負(fù)載 | 水平負(fù)載10kg,垂直使用負(fù)載請(qǐng)聯(lián)系廠家溝通 | |||
質(zhì)量 | 整機(jī)重量20kg |
技術(shù)支持:化工儀器網(wǎng) 管理登陸 網(wǎng)站地圖