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【產(chǎn)品特點】
■為單軸,超高精度直線平臺;
■配備高精度光柵,分辨率達(dá)0.1um;
■采用大理石底座,平臺平面度好、長行程、大負(fù)載;
■應(yīng)用于:電子加工,半導(dǎo)體加工等行業(yè)。
【產(chǎn)品二維圖及選型參數(shù)】
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